產品與技術
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拉普拉斯低壓水平磷擴散設備 LRP430
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拉普拉斯低壓水平硼擴散設備 LRB430
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拉普拉斯低壓水平氧化退火設備 LOX430
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拉普拉斯低壓水平化學氣相沉積鍍膜設備 LPCVD LLP430
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拉普拉斯等離子體增強原子層沉積水平鍍膜自動上下料設備 LAA3000/00
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拉普拉斯電池間隙貼膜機 LTM200/00
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熱場
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Bhadra?立式LPCVD BHC200
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