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圖1，IMEC現場演示文稿截圖
圖4，（a）是3D概念圖，（b）SAC和COAG之后形成的具有Air gap 的FinFET TEM圖。
圖5，后Air Gap Spacer 工藝流程圖，由編者摘自對應演示文稿
以下是對應演示文稿
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